陝西雲潤工業開発有限公司

タンタル ターゲット 99.99% 平面ターゲット

スパッタ リング ターゲット製品名: タンタル 標準の実行: B708 98 仕様: 円形ターゲット (25-400) (3-28) mm の直径 * 厚正方形ターゲット仕様: mm * (10-600) mm * 長さ幅 (200-2000) mm 公差の厚さ (1-12.7): 径許容差 +/- 0.254.

Products Specifications:

製品名:タンタル スパッタ リング ターゲット

標準の実行: B708 98

仕様: 円形ターゲット (25-400) mm (3-28) の直径 * 厚

正方形のターゲット スペシフィケーション: mm * (10-600) mm * 長さ幅 (200-2000) mm の厚さ (1-12.7)

耐性: の外径許容差 +/- 0.254

ブランド: RO5200、RO5400、RO5252 (Ta-2.5 w)、RO5255 (Ta 10 w)

純度: 99.9%

再結晶: 95% 以上

粒サイズ: 最小 40 m

表面粗さ: Ra 最大 0.8

平坦性: 最大 0.1 mm 0.10%。

タンタル板ターゲット

化学組成

Gr

メイン

その他最大 %

Ta

Nb

Fe

Si

Ni

W

Mo

Ti

Nb

O

C

H

N

思い出させる

——

0.005

0.005

0.002

0.01

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01

ラット

思い出させる

——

0.03

0.02

0.005

0.04

0.03

0.005

0.1

0.03

0.01

0.0015

0.01

TaNb3

思い出させる

<3.5

0.03

0.03

0.005

0.04

0.03

0.005

——

0.03

0.01

0.0015

0.01

TaNb20

思い出させる

17.0~23.0

0.03

0.03

0.005

0.04

0.03

0.005

——

0.03

0.01

0.0015

0.01

Ta2.5W

思い出させる


0.005

0.005

0.002

3.0

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01

Ta10W

思い出させる


0.005

0.005

0.002

11

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01




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