陝西雲潤工業開発有限公司

Nb-zrスパッタリングターゲット

ニオブジルコニウム合金スパッタリングターゲット
(NbZr 3、NbZr 10、NbZr 30)

仕様 :円形ターゲットの直径(20-400)mm(3-28)mm *厚さ

スクエアターゲット仕様 :mm *(10-1000)mm *長さの幅(200-2000)mmの厚さ(1-20)再結晶化率:95%at

少なくとも穀物のサイズ :最小40 ...

Products Specifications:

ニオブジルコニウム合金スパッタリングターゲット(NbZr 3、NbZr 10、NbZr 30)

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仕様:円形ターゲットの直径(20-400)mm(3-28)mm *厚さ


正方形の目標仕様:mm *(10-1000)mm *長さの幅(200-2000)mmの厚さ(1〜20)


再結晶化:少なくとも95%

 

穀物のサイズ:最小40メートル


表面粗さ:Ra 0.8最大


平坦度:0.1mm最大0.10%


公差:+ / - 0.127の直径公差


純度:NbZr 3(97%純タンタル、3%純ジルコニウム)


NbZr10(90%純タンタル、10%純ジルコニウム)


NbZr30(70%純タンタル、30%純ジルコニウム)


特別な要件がある場合、両当事者は合意した

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